2
Prexa. Tokyo Electron April 2014: US 79137549

3

4
Exim. Tokyo Electron February 2014: US 79131412

5
Prexa. Tokyo Electron September 2013: WO 1179247


7
Nt333. Tokyo ElectronMark I Peroff October 2012: US 85504611 (7. Machinery)

8
Ex-ii. Tokyo ElectronHoffmann ยท Eitle October 2012: NO 010712925